A frequência de RF normalmente utilizada para o processo de pulverização catódica situa-se na gama de 5-30 MHz.
13,56 MHz é a frequência mais frequentemente utilizada.
Esta freqüência é padronizada pelos Regulamentos de Rádio da ITU para instrumentos industriais, científicos e médicos (ISM).
A padronização ajuda a evitar interferência com serviços de telecomunicações.
4 pontos-chave sobre a frequência de RF na pulverização catódica
1. Escolha estratégica de 13,56 MHz
A escolha de 13,56 MHz é estratégica.
É suficientemente baixa para permitir tempo suficiente para a transferência de momento dos iões de árgon para o alvo.
Isto é crucial para uma pulverização eficaz.
A frequências mais elevadas, o papel dos iões diminui.
O processo torna-se mais dominado pelos electrões, semelhante à evaporação por feixe de electrões.
2. Vantagens para os materiais isolantes
A utilização de 13,56 MHz na pulverização catódica RF é particularmente vantajosa para a deposição de materiais isolantes.
Ao contrário da pulverização por corrente contínua (DC), que é adequada para materiais condutores, a pulverização por RF utiliza fontes de alimentação de radiofrequência.
Estas fontes de alimentação podem lidar com materiais com propriedades isolantes.
A pulverização catódica RF permite a manutenção de um plasma de gás inerte a uma pressão mais baixa (inferior a 15 mTorr).
A pulverização catódica DC requer uma pressão mais elevada (cerca de 100 mTorr).
Este ambiente de pressão mais baixa reduz as colisões entre as partículas do material alvo e os iões de gás.
Facilita uma via de deposição mais direta no substrato.
3. Mecanismo da pulverização catódica RF
O mecanismo da pulverização catódica por radiofrequência envolve a alternância do potencial elétrico a frequências de rádio.
Isto evita a acumulação de cargas na superfície do alvo.
Cada ciclo da corrente RF limpa efetivamente a superfície do alvo.
Inverte a acumulação de carga que se acumularia com um fluxo de corrente contínuo numa direção.
Este efeito de limpeza é crucial para manter a eficiência do processo de pulverização catódica.
Especialmente para alvos isolantes, onde a acumulação de carga pode impedir o processo de deposição.
4. Resumo das vantagens da frequência de RF
Em resumo, a frequência de RF de 13,56 MHz é amplamente utilizada na pulverização catódica.
Isso se deve à sua compatibilidade com os padrões ISM.
É eficaz no manuseamento de materiais isolantes.
Funciona a pressões mais baixas, melhorando a orientação e a eficiência do processo de deposição.
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