A deposição física de vapor (PVD) é um processo utilizado para depositar uma película fina de material num substrato.
Este processo é normalmente utilizado no fabrico de semicondutores e noutras indústrias.
O PVD envolve várias etapas fundamentais: vaporização, transporte e condensação.
5 passos fundamentais para compreender a deposição física de vapor
1. Vaporização
O primeiro passo na PVD é a vaporização.
Isto envolve a conversão do material a ser depositado num estado de vapor.
A vaporização é normalmente conseguida através de eletricidade de alta potência, lasers ou outros métodos de aquecimento.
O objetivo é gaseificar o material precursor sólido em condições de vácuo a alta temperatura.
2. Transporte
Quando o material se encontra no estado de vapor, é transportado através de uma região de baixa pressão desde a sua fonte até ao substrato.
Esta etapa requer um ambiente de vácuo para minimizar as colisões com outras partículas.
O vácuo assegura um movimento eficiente dos átomos ou moléculas vaporizados.
3. Condensação
A etapa final envolve a condensação do vapor no substrato.
Quando os átomos vaporizados atingem o substrato, aderem à sua superfície e formam uma película fina através do processo de condensação.
Isto resulta numa deposição eficiente e de elevada pureza do material.
4. Métodos PVD
Os métodos PVD são preferidos pela sua capacidade de produzir películas finas com elevada pureza e eficiência.
Os dois métodos mais comuns de PVD são a pulverização catódica e a evaporação térmica.
A pulverização catódica é o método mais utilizado no fabrico de dispositivos de integração em muito grande escala (VLSI).
É particularmente eficaz para depositar películas finas de materiais.
5. Aplicações ambientais e industriais
A PVD é um processo amigo do ambiente.
Oferece a vantagem de depositar praticamente qualquer material inorgânico.
Isto torna-o versátil e valioso em várias aplicações industriais.
As películas produzidas podem variar de alguns angstroms a milhares de angstroms de espessura.
As taxas de deposição variam tipicamente de 1-100 A/s.
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