Os alvos de pulverização catódica são normalmente fabricados através de uma variedade de processos de fabrico que dependem das propriedades do material do alvo e da sua aplicação pretendida. Estes processos incluem fusão e fundição a vácuo, prensagem a quente, prensagem a frio e sinterização, e processos especiais de sinterização por prensagem. A escolha do processo é crucial, uma vez que afecta a qualidade e o desempenho do alvo de pulverização catódica.
Fusão e fundição a vácuo: Este processo envolve a fusão das matérias-primas no vácuo para evitar a contaminação e, em seguida, a fundição do material fundido na forma desejada. Este método é particularmente útil para materiais reactivos ou com pontos de fusão elevados. O ambiente de vácuo assegura que o material é puro e livre de impurezas que possam afetar o processo de pulverização catódica.
Prensagem a quente e prensagem a frio com sinterização: Estes métodos envolvem a prensagem de materiais em pó a altas ou baixas temperaturas, respetivamente, seguida de um processo de sinterização. A sinterização é o processo de aquecimento do material prensado a uma temperatura abaixo do seu ponto de fusão, o que faz com que as partículas se unam, formando uma peça sólida. Esta técnica é eficaz para criar alvos densos e fortes a partir de materiais que são difíceis de fundir ou derreter.
Processo especial de sinterização por prensagem: Esta é uma variação dos métodos de prensagem e sinterização, adaptada a materiais específicos que requerem um controlo preciso das condições de prensagem e sinterização. Este processo assegura que o material alvo tem as propriedades necessárias para uma pulverização catódica eficaz.
Fabricação de formas e tamanhos: Os alvos de pulverização catódica podem ser fabricados em várias formas e tamanhos, sendo as formas comuns circulares ou retangulares. No entanto, há limitações para o tamanho de uma única peça e, nesses casos, são produzidos alvos multi-segmentados. Estes segmentos são unidos através de juntas de topo ou biseladas para formar uma superfície contínua para pulverização catódica.
Controlo de qualidade: Cada lote de produção é submetido a rigorosos processos analíticos para garantir que os alvos cumprem os mais elevados padrões de qualidade. Um certificado de análise é fornecido com cada remessa, detalhando as propriedades e a composição do material.
Alvos de pulverização de silício: São feitos por pulverização catódica a partir de um lingote de silício e podem ser fabricados utilizando processos como galvanoplastia, pulverização catódica e deposição de vapor. São frequentemente utilizados processos adicionais de limpeza e gravação para obter as condições de superfície desejadas, garantindo que os alvos são altamente reflectores e têm uma rugosidade inferior a 500 Angstroms.
Em geral, o fabrico de alvos de pulverização catódica é um processo complexo que requer uma seleção cuidadosa do método de fabrico adequado com base nas propriedades do material e na aplicação pretendida. O objetivo é produzir alvos que sejam puros, densos e com a forma e tamanho correctos para facilitar a pulverização e deposição eficazes de películas finas.
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