Os alvos de pulverização catódica são componentes essenciais em várias aplicações científicas e industriais.
O seu processo de fabrico é complexo e depende das propriedades do material do alvo e da sua utilização pretendida.
Eis os sete principais processos envolvidos no fabrico de alvos de pulverização catódica:
1. Fusão e fundição sob vácuo
Este processo envolve a fusão de matérias-primas no vácuo para evitar a contaminação.
O material fundido é então moldado na forma desejada.
Este método é ideal para materiais com pontos de fusão elevados ou que sejam reactivos.
O ambiente de vácuo garante que o material é puro e livre de impurezas.
2. Prensagem a quente e prensagem a frio com sinterização
A prensagem a quente envolve a prensagem de materiais em pó a altas temperaturas, seguida de sinterização.
A prensagem a frio envolve a prensagem a baixas temperaturas, também seguida de sinterização.
A sinterização aquece o material prensado abaixo do seu ponto de fusão, fazendo com que as partículas se unam e formem uma peça sólida.
Esta técnica é eficaz para criar alvos densos e fortes a partir de materiais difíceis de fundir.
3. Processo especial de sinterização por prensagem
Esta é uma variação personalizada dos métodos de prensagem e sinterização.
Foi concebido para materiais que requerem um controlo preciso das condições de prensagem e sinterização.
Este processo assegura que o material alvo tem as propriedades necessárias para uma pulverização catódica eficaz.
4. Fabrico de formas e tamanhos
Os alvos de pulverização catódica podem ser fabricados em várias formas, como circular ou retangular.
No entanto, existem limitações quanto ao tamanho de uma única peça.
Nesses casos, são produzidos alvos com vários segmentos.
Estes segmentos são unidos através de juntas de topo ou biseladas para formar uma superfície contínua para pulverização catódica.
5. Controlo de qualidade
Cada lote de produção é submetido a rigorosos processos analíticos.
Isto assegura que os alvos cumprem os mais elevados padrões de qualidade.
É fornecido um certificado de análise com cada remessa, detalhando as propriedades e a composição do material.
6. Alvos de pulverização de silício
Estes alvos são fabricados por pulverização catódica a partir de um lingote de silício.
Os processos de fabrico incluem a galvanoplastia, a pulverização catódica e a deposição de vapor.
São frequentemente empregues processos adicionais de limpeza e gravação para obter as condições de superfície desejadas.
Isto assegura que os alvos são altamente reflectores e têm uma rugosidade inferior a 500 Angstroms.
7. Processo global de fabrico
O fabrico de alvos de pulverização catódica é um processo complexo.
Requer uma seleção cuidadosa do método de fabrico adequado com base nas propriedades do material e na aplicação pretendida.
O objetivo é produzir alvos puros, densos e com a forma e o tamanho corretos para facilitar a pulverização e a deposição eficazes de películas finas.
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