O rendimento de pulverização catódica, também conhecido como taxa de pulverização catódica física, é uma medida do número de átomos perdidos de uma superfície por cada partícula energética incidente que atinge a superfície. É um fator importante nos processos de deposição por pulverização catódica, uma vez que afecta a taxa de deposição por pulverização catódica.
O rendimento da pulverização catódica depende essencialmente de três factores principais: o material alvo, a massa das partículas de bombardeamento e a energia das partículas de bombardeamento. Na gama de energia em que ocorre a pulverização catódica (10 a 5000 eV), o rendimento da pulverização catódica aumenta com a massa e a energia das partículas.
O rendimento da pulverização catódica é influenciado por vários factores, incluindo o ângulo em que os iões atingem a superfície, a quantidade de energia dos iões durante a colisão, o peso dos iões, o peso dos átomos do material alvo, a energia de ligação entre os átomos do material alvo, a intensidade do campo magnético e factores de conceção (em cátodos magnetrónicos) e a pressão do gás de plasma.
Para ejetar um átomo do material alvo, os iões devem ter uma energia mínima, normalmente 30-50 eV, que depende do material. Acima deste limiar, o rendimento da pulverização catódica aumenta. No entanto, o aumento do rendimento diminui rapidamente com energias de iões elevadas, porque a energia é depositada mais profundamente no alvo e mal atinge a superfície.
A relação entre as massas do ião e do átomo alvo determina a possível transferência de momento. Para átomos-alvo leves, o rendimento máximo é atingido quando a massa do alvo e do ião coincidem aproximadamente. No entanto, à medida que a massa dos átomos alvo aumenta, o rendimento máximo desloca-se para rácios de massa mais elevados entre o ião e o átomo alvo.
O rendimento de pulverização catódica tem vantagens nos processos de deposição por pulverização catódica, tais como taxas de deposição elevadas e a capacidade de depositar uma vasta gama de materiais. No entanto, também tem desvantagens, incluindo elevadas despesas de capital, taxas de deposição relativamente baixas para alguns materiais, degradação de sólidos orgânicos por bombardeamento iónico e uma maior tendência para introduzir impurezas no substrato, em comparação com a deposição por evaporação.
Em geral, o rendimento da pulverização catódica é um parâmetro importante a ser considerado nos processos de deposição por pulverização catódica, pois determina a eficiência e a eficácia do processo de deposição.
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