A pulverização catódica é um processo de deposição de película fina utilizado em vários sectores, incluindo semicondutores, dispositivos ópticos e acabamento de superfícies.
Envolve a ejeção de átomos de um material alvo para um substrato devido ao bombardeamento por partículas de alta energia.
Esta técnica é uma forma de deposição física de vapor (PVD) e tem sido utilizada desde o início do século XIX, com avanços e inovações significativos ao longo dos anos.
5 pontos-chave para compreender
1. Detalhes do processo
Na pulverização catódica, é introduzido um gás controlado, normalmente árgon, numa câmara de vácuo.
É aplicada uma tensão para criar um plasma e o material alvo, que funciona como cátodo, é bombardeado por iões de árgon.
Este bombardeamento faz com que os átomos do alvo sejam ejectados e depositados num substrato, que actua como ânodo.
A película fina resultante tem uma excelente uniformidade, densidade e aderência, o que a torna adequada para uma vasta gama de aplicações.
2. Variações e aplicações
A pulverização catódica pode ser classificada em diferentes tipos, tais como a pulverização catódica, a pulverização catódica com díodos, a pulverização por radiofrequência ou por corrente contínua, a pulverização por feixe de iões e a pulverização reactiva.
Apesar destas variações, o processo fundamental permanece o mesmo.
A versatilidade da pulverização catódica permite-lhe ser utilizada para criar revestimentos reflectores, dispositivos semicondutores e produtos nanotecnológicos.
É também utilizada em técnicas analíticas e de gravura de precisão, devido à sua capacidade de atuar sobre camadas extremamente finas de material.
3. Importância histórica e tecnológica
O processo de pulverização catódica foi descoberto pela primeira vez em 1852 e desenvolvido como técnica de deposição de película fina por Langmuir em 1920.
Desde 1976, foram emitidas mais de 45.000 patentes americanas relacionadas com a pulverização catódica, o que realça a sua importância em materiais e dispositivos avançados.
A inovação contínua na tecnologia de pulverização catódica tem sido crucial para o avanço da ciência dos materiais e para permitir a produção de películas finas de alta qualidade, essenciais para as aplicações tecnológicas modernas.
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