A deposição no processo dos semicondutores refere-se às técnicas utilizadas para criar camadas finas ou espessas de materiais numa superfície sólida. Estas camadas são essenciais para a construção de dispositivos semicondutores. Podem ser materiais dieléctricos (isolantes) ou metálicos (condutores). São utilizadas várias tecnologias de deposição para formar estas camadas.
4 Técnicas principais na deposição de semicondutores
Deposição de Vapor Químico (CVD)
A Deposição de Vapor Químico (CVD) é um método utilizado para produzir materiais sólidos de alta qualidade e elevado desempenho. Normalmente, é efectuado sob vácuo. A CVD é frequentemente utilizada no fabrico de semicondutores e na produção de películas finas. Na CVD, os precursores gasosos reagem e depositam-se num substrato, formando uma camada sólida. Este processo é crucial para criar camadas de materiais com um controlo preciso da espessura e uniformidade.
Sputtering
A pulverização catódica é outro processo de deposição de película fina. Neste processo, os átomos são ejectados de um material alvo e depositados num substrato devido ao bombardeamento por partículas de alta energia. Esta técnica é amplamente utilizada na indústria de semicondutores, bem como na produção de unidades de disco, CDs e dispositivos ópticos. A pulverização catódica permite a deposição de uma vasta gama de materiais com boa aderência e uniformidade.
Deposição de película fina
A deposição de película fina engloba todas as tecnologias utilizadas para formar películas finas em substratos. Estas películas são cruciais para o fabrico de dispositivos microelectrónicos. São utilizadas diferentes tecnologias de deposição, dependendo do tipo de material e da estrutura que está a ser fabricada. Por exemplo, a deposição eletroquímica (ECD) é utilizada para criar a "cablagem" de cobre que interliga os dispositivos num circuito integrado. A metalização é utilizada para vias através do silício e aplicações de embalagem ao nível da bolacha. A deposição química de vapor (CVD) e a deposição de camadas atómicas (ALD) são utilizadas para criar pequenos conectores de tungsténio e barreiras finas, adicionando apenas algumas camadas de átomos de cada vez. A CVD enriquecida com plasma (PECVD), a CVD com plasma de alta densidade (HDP-CVD) e a ALD são utilizadas para formar camadas isolantes críticas que isolam e protegem as estruturas eléctricas.
Importância dos processos de deposição
Estes processos de deposição são vitais para a indústria de semicondutores. Permitem a criação de estruturas complexas com um controlo preciso das propriedades dos materiais. Isto é essencial para a funcionalidade e desempenho dos dispositivos semicondutores.
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