Uma película de pulverização catódica é uma camada fina de material criada através de um processo designado por pulverização catódica.
A pulverização catódica é um tipo de deposição física de vapor (PVD).
Neste processo, os átomos de um material de origem, conhecido como alvo, são ejectados pela transferência de momento de uma partícula de bombardeamento.
A partícula de bombardeamento é normalmente uma molécula de gás ionizado.
Os átomos ejectados ligam-se então a um substrato a nível atómico, formando uma película fina com uma ligação praticamente inquebrável.
5 factos importantes que precisa de saber
1. O processo de pulverização catódica ocorre numa câmara de vácuo
O processo de pulverização catódica ocorre numa câmara de vácuo.
Uma pequena quantidade de gás argônio é injetada na câmara.
O material alvo e o substrato são colocados em lados opostos da câmara.
É aplicada uma tensão entre eles utilizando métodos como a corrente contínua (DC), a radiofrequência (RF) ou a média frequência.
As partículas de alta energia bombardeiam o material alvo, fazendo com que os átomos e as moléculas troquem de momento e saltem para fora da superfície, um fenómeno conhecido por pulverização catódica.
2. A pulverização catódica é uma tecnologia versátil e escalável
A pulverização catódica é uma tecnologia comprovada, capaz de depositar películas finas de uma grande variedade de materiais em diversos formatos e tamanhos de substratos.
O processo é repetível e pode ser ampliado desde pequenos projectos de investigação e desenvolvimento até lotes de produção que envolvam áreas de substrato médias a grandes.
3. O processo de fabrico do alvo de pulverização catódica é fundamental
Para obter as caraterísticas desejadas numa película fina depositada por pulverização catódica, o processo de fabrico utilizado para fabricar o alvo de pulverização catódica é fundamental.
O material do alvo pode ser um elemento, uma mistura de elementos, ligas ou compostos.
O processo para produzir o material definido numa forma adequada para a pulverização catódica de películas finas de qualidade consistente é essencial.
4. Os átomos pulverizados têm energias cinéticas mais elevadas
Uma vantagem do processo de pulverização catódica é que os átomos projectados por pulverização catódica têm energias cinéticas significativamente mais elevadas do que os materiais evaporados, o que resulta numa melhor adesão.
A pulverização catódica pode ser efectuada de baixo para cima ou de cima para baixo.
Mesmo os materiais com pontos de fusão muito elevados podem ser facilmente pulverizados.
5. As películas pulverizadas apresentam excelente uniformidade e adesão
As películas pulverizadas apresentam excelente uniformidade, densidade, pureza e aderência.
É possível produzir ligas de composição precisa com pulverização catódica convencional ou óxidos, nitretos e outros compostos por pulverização catódica reactiva.
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