Uma película de pulverização catódica é uma camada fina de material criada através de um processo designado por pulverização catódica, que é um tipo de deposição física de vapor (PVD). Neste processo, os átomos de um material de origem, conhecido como o alvo, são ejectados pela transferência de momento de uma partícula de bombardeamento, normalmente uma molécula de gás ionizado. Os átomos ejectados ligam-se então a um substrato a nível atómico, formando uma película fina com uma ligação praticamente inquebrável.
O processo de pulverização catódica ocorre numa câmara de vácuo, onde é injectada uma pequena quantidade de gás árgon. O material alvo e o substrato são colocados em lados opostos da câmara e é aplicada uma tensão entre eles, utilizando métodos como a corrente contínua (DC), a radiofrequência (RF) ou a média frequência. As partículas de alta energia bombardeiam o material alvo, fazendo com que os átomos e as moléculas troquem de momento e saltem para fora da superfície, um fenómeno conhecido como pulverização catódica.
A pulverização catódica é uma tecnologia comprovada, capaz de depositar películas finas de uma grande variedade de materiais em diversos formatos e tamanhos de substratos. O processo é repetível e pode ser ampliado desde pequenos projectos de investigação e desenvolvimento até lotes de produção envolvendo áreas de substrato médias a grandes. Para obter as características desejadas numa película fina depositada por pulverização catódica, o processo de fabrico utilizado para fabricar o alvo de pulverização catódica é fundamental. O material alvo pode consistir num elemento, numa mistura de elementos, ligas ou compostos, e o processo para produzir o material definido numa forma adequada para a pulverização de películas finas de qualidade consistente é essencial.
Uma vantagem do processo de pulverização catódica é que os átomos projectados por pulverização catódica têm energias cinéticas significativamente mais elevadas do que os materiais evaporados, o que resulta numa melhor adesão. A pulverização pode ser efectuada de baixo para cima ou de cima para baixo, e mesmo materiais com pontos de fusão muito elevados podem ser facilmente pulverizados. As películas pulverizadas apresentam excelente uniformidade, densidade, pureza e adesão. É possível produzir ligas de composição precisa com pulverização convencional ou óxidos, nitretos e outros compostos por pulverização reactiva.
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