A pulverização catódica é um processo crucial em várias indústrias, especialmente no fabrico de produtos de laboratório, películas ópticas, semicondutores e muito mais.
Quantos tipos de pulverização catódica existem? (2 Técnicas Principais Explicadas)
1. Sputtering por feixe de iões
Na pulverização catódica por feixe de iões, um feixe de iões é apontado à superfície do material que tem de ser vaporizado.
O elevado campo elétrico do feixe de iões provoca a ionização dos gases de vapor metálico.
Após a ionização, estes iões são dirigidos para o alvo ou para a peça onde a deposição é necessária.
Este método é frequentemente utilizado na indústria transformadora, em particular na indústria médica, para produzir produtos de laboratório e películas ópticas.
2. Pulverização por magnetrões
A pulverização catódica por magnetrão utiliza um magnetrão, um tipo de cátodo que cria um plasma num ambiente gasoso de baixa pressão.
Este plasma é formado perto do material alvo, que é normalmente feito de metal ou cerâmica.
O plasma faz com que os iões de gás colidam com o alvo de pulverização catódica, desalojando átomos da superfície e ejectando-os para a fase gasosa.
O campo magnético produzido pelo conjunto magnético aumenta a velocidade de pulverização e assegura uma deposição mais uniforme do material pulverizado no substrato.
Esta técnica é amplamente utilizada para depositar películas finas de metais, óxidos e ligas em vários substratos, tornando-a amiga do ambiente e versátil para aplicações em semicondutores, dispositivos ópticos e nanociência.
Tanto a pulverização catódica por feixe de iões como a pulverização catódica por magnetrão fazem parte dos métodos de deposição em fase vapor por processo físico (PVD).
A PVD envolve a deposição de películas finas através da introdução de um gás controlado, normalmente árgon, numa câmara de vácuo e da energização eléctrica de um cátodo para estabelecer um plasma auto-sustentado.
A escolha entre estas duas técnicas depende dos requisitos específicos da aplicação, incluindo o tipo de material a depositar, a uniformidade do revestimento e as condições ambientais.
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