A pulverização catódica é um processo utilizado para criar películas finas num substrato. Envolve a ejeção de átomos de um material alvo sólido para a fase gasosa e a sua posterior deposição num substrato. Esta técnica é amplamente utilizada em várias indústrias pela sua precisão e controlo sobre as propriedades da película depositada.
Como é feita a pulverização catódica? Explicado em 6 passos simples
1. Configuração da câmara de vácuo
O processo inicia-se numa câmara de vácuo. Um gás controlado, normalmente árgon, é introduzido na câmara. O ambiente de vácuo é essencial porque minimiza o número de outras moléculas que podem interferir com o processo de deposição.
2. Geração de plasma
Um cátodo no interior da câmara é energizado eletricamente. Isto leva à geração de um plasma autossustentável. Neste plasma, os átomos de árgon perdem electrões e transformam-se em iões de carga positiva.
3. Bombardeamento de iões
Estes iões de árgon com carga positiva são acelerados em direção a um material alvo devido a um campo elétrico. A energia destes iões é suficientemente elevada para deslocar átomos ou moléculas do material alvo aquando do impacto.
4. Ejeção do material alvo
O impacto dos iões energéticos no alvo provoca a ejeção de átomos ou moléculas do material alvo. Este processo é conhecido por pulverização catódica. O material ejectado forma um fluxo de vapor.
5. Deposição no substrato
O material pulverizado, agora em estado de vapor, atravessa a câmara e deposita-se num substrato posicionado na câmara. Esta deposição resulta na formação de uma película fina com propriedades específicas, como a refletividade, a condutividade eléctrica ou a resistência.
6. Controlo e otimização
Os parâmetros do processo de pulverização catódica podem ser ajustados com precisão para controlar as propriedades da película depositada. Isto inclui a sua morfologia, orientação do grão, tamanho e densidade. Esta precisão torna a pulverização catódica uma técnica versátil para criar interfaces de alta qualidade entre materiais a nível molecular.
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