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915MHz MPCVD Máquina de Diamante Sistema de Reator de Deposição Química de Vapor de Plasma de Micro-ondas

MPCVD

915MHz MPCVD Máquina de Diamante Sistema de Reator de Deposição Química de Vapor de Plasma de Micro-ondas

Número do item : MP-CVD-101

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Introdução

A Máquina de Diamante MPCVD é uma tecnologia revolucionária que utiliza Deposição Química de Vapor de Plasma de Micro-ondas (MPCVD) para sintetizar diamantes. Este método avançado permite um crescimento de cristal mais rápido, maior capacidade de produção e melhor qualidade de diamante em comparação com as técnicas tradicionais.

A Máquina de Diamante MPCVD permite um controle preciso da potência de micro-ondas e da temperatura da reação, eliminando problemas enfrentados em outros métodos de CVD. Ao otimizar o design da câmara de reação e os parâmetros do processo, ela alcança uma descarga de plasma estável, crucial para a produção de diamantes de cristal único de alta qualidade e grande porte.

A versatilidade da Máquina de Diamante MPCVD estende-se à sua capacidade de criar diamantes em várias cores, incluindo branco, amarelo, rosa e azul. Além disso, oferece produção personalizável para atender às demandas específicas do mercado.

Aplicação

As Máquinas de Diamante MPCVD são amplamente utilizadas em várias indústrias devido às propriedades únicas dos diamantes, como sua dureza, rigidez, alta condutividade térmica, baixa expansão térmica, resistência à radiação e inércia química. Aqui estão algumas das principais áreas de aplicação das Máquinas de Diamante MPCVD:

  • Pedras preciosas de diamante: MPCVD é o equipamento principal usado para o crescimento de pedras preciosas de diamante de alta qualidade e grande porte.
  • Filmes de diamante: MPCVD é usado para o crescimento de filmes de diamante para uma variedade de aplicações, incluindo substratos de diamante de grande porte para a indústria de semicondutores e ferramentas de corte ou perfuração de diamante.
  • Aplicações industriais: MPCVD é usado para produzir revestimentos de diamante para ferramentas de corte, brocas e outras aplicações industriais onde dureza e durabilidade extremas são necessárias.
  • Aplicações biomédicas: MPCVD é usado para produzir revestimentos de diamante para implantes médicos, como articulações artificiais e implantes dentários, onde biocompatibilidade e durabilidade são essenciais.
  • Optoeletrônica: MPCVD é usado para produzir janelas e substratos de diamante para dispositivos optoeletrônicos, como lasers de alta potência e detectores, onde alta condutividade térmica e baixa expansão térmica são críticas.

Detalhes e Peças

Detalhes da MPCVD

Detalhes da MPCVD

Princípio

Deposição Química de Vapor de Plasma de Micro-ondas (MPCVD) é um processo de deposição química de vapor que utiliza uma fonte contínua de micro-ondas para gerar e sustentar um plasma altamente reativo composto de produtos químicos reativos e catalisadores essenciais. MPCVD é amplamente empregado para depositar camadas de diamante — metano e hidrogênio são introduzidos e utilizados para cultivar novo diamante em um substrato semeado com diamante.

Características

A Máquina de Diamante MPCVD apresenta várias vantagens que beneficiam os clientes:

  • Velocidade de crescimento de cristal mais rápida: 10-100 vezes mais rápida que os métodos tradicionais, resultando em maior eficiência de produção.
  • Mais capacidade de produção: Permite maior capacidade de produção em um único lote, permitindo a síntese de diamantes em maior escala.
  • Desempenho de maior qualidade: Produz diamantes com maior dureza e tenacidade do que diamantes naturais, garantindo durabilidade e longevidade.
  • Cores mais diversificadas: Suporta a produção de diamantes em uma variedade de cores, incluindo branco, amarelo, rosa e azul, atendendo às diversas demandas do mercado.
  • Maior pureza de diamante: Produz diamantes com maior pureza do que o diamante natural Tipo II, garantindo propriedades ópticas excepcionais e adequação para várias aplicações.
  • Personalização de múltiplos estilos: Oferece designs personalizáveis para atender a requisitos específicos do mercado, fornecendo soluções sob medida para diferentes indústrias.

Especificações técnicas

Sistema de micro-ondas (de acordo com a fonte de alimentação opcional)

  • Frequência de operação: 915±15MHz
  • Potência de saída: 3-75kW continuamente ajustável
  • Fluxo de água de resfriamento: 120/min
  • Coeficiente de onda estacionária do sistema: VSWR≤1.5
  • Vazamento de micro-ondas: <2mw/cm2

Sistema de vácuo e câmara de reação

  • Taxa de vazamento <5×10-9Pa.m3/s
  • A pressão limite é inferior a 0,7 Pa (esta máquina vem com um medidor de vácuo Pirani importado)
  • O aumento da pressão na cavidade não deve exceder 50 Pa após 12 horas de manutenção da pressão.
  • Modo de operação da câmara de reação: modo TM021 ou TM023
  • Tipo de cavidade: cavidade cilíndrica resfriada, pode suportar potência de até 75KW, alta pureza, vedação de anel de pedra.
  • Método de entrada: Entrada por bico pulverizador superior.
  • Janela de medição de temperatura de observação: 8 orifícios de observação, distribuídos uniformemente horizontalmente.
  • Porta de amostragem: porta de amostragem elevatória inferior

Sistema de suporte de amostra

  • Diâmetro do estágio da amostra ≥200mm, área de uso efetivo de cristal único ≥130mm, a área de uso efetivo de policristalino é ≥200mm. Plataforma de substrato com estrutura de sanduíche de resfriamento a água, vertical para cima e para baixo.

Sistema de gás

  • Placa de gás soldada totalmente metálica com 5-7 linhas de gás
  • Todos os circuitos de ar internos do equipamento usam soldagem ou conectores VCR.

Resfriamento do sistema

  • Resfriamento a água de 3 vias, monitoramento em tempo real de temperatura e fluxo.
  • Fluxo de água de resfriamento do sistema 120L/min, pressão da água de resfriamento <4KG, temperatura da água de entrada 20-25.

Método de medição de temperatura

  • Termômetro infravermelho externo, faixa de temperatura 3001400 M

Lista de peças chave do equipamento SL901A

número serial Nome do módulo Observação
1 Fonte de alimentação de micro-ondas Magnetron doméstico padrão: Yingjie Electric / Fonte de estado sólido doméstica Distinguish (+30.000) Fonte de estado sólido doméstica: Watson (+30.000) Magnetron importado: MKS/ pastoral (+100.000)
2 Guia de onda, três pinos, conversor de modo, ressonador superior Auto fabricado
3 Câmara de reação de vácuo (câmara superior, câmara inferior, conectores) Auto fabricado
4 Termômetros infravermelhos, componentes de deslocamento óptico, suportes Termômetros infravermelhos, componentes de deslocamento óptico, suportes Fuji Gold Siemens + Schneider
5 Componentes de movimento da mesa de resfriamento a água (cilindros, peças de trabalho, etc.)
6 Medidor de vácuo de filme cerâmico, medidor de vácuo Pirani Inficon
7 Componentes da válvula de vácuo (válvula de gaveta de vácuo ultra-alto, válvula pneumática de precisão*2, válvula diferencial de carregamento de vácuo eletromagnético) Fujikin + Zhongke + Himat
8 Bomba de vácuo e conexões de tubulação, T, foles KF25*2, adaptador Bomba: Flyover 16L
9 Anel de vedação de micro-ondas metálico*2; anel de vedação de vácuo metálico*1; Placa de quartzo Quartzo: Quartzo de Alta Pureza Grau Semicondutor Shanghai Feilihua
10 Componentes de água circulante (juntas, blocos divisores, detectores de fluxo) Japonês SMC/CKD
11 Parte pneumática (filtro CKD, válvula solenoide multi-vias Airtac, conexões de tubulação e adaptadores)
12 Conector de gás, tubo de gás EP, conector VCR, filtro 0.0023μm *1, filtro 10μm*2 Fujikin
13 Carcaça da máquina, mesa de aço inoxidável, rodas universais, pés, parafusos de fixação do suporte, etc. processamento customizado
14 Medidor de fluxo de gás*6 (incluindo um controle de pressão) Padrão Sete Estrelas, Fuji Gold opcional (+34.000) / Alicat (42.000)
15 Processamento da placa de gás (gás de 5 vias, filtro*5, válvula pneumática*5, válvula manual*6, soldagem de tubulação) Fuji Gold
16 Controle automático PLC Siemens + Schneider
17 Mesa de Molibdênio

Vantagens

  • Velocidade de crescimento de cristal mais rápida - 10-100 vezes mais rápida que os métodos tradicionais
  • Mais capacidade de produção - mais capacidade de produção em um único lote
  • Desempenho de maior qualidade - maior dureza e tenacidade do que diamantes naturais
  • Cores mais diversificadas - branco, amarelo, rosa, azul, etc.
  • Maior pureza de diamante - mais puro que o diamante natural Tipo
  • Personalização de múltiplos estilos pode ser personalizada de acordo com diferentes mercados

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FAQ

O Que é O Mpcvd?

MPCVD significa Deposição de Vapor Químico por Plasma de Micro-ondas e é um processo de deposição de películas finas numa superfície. Utiliza uma câmara de vácuo, um gerador de micro-ondas e um sistema de distribuição de gás para criar um plasma constituído por produtos químicos em reação e pelos catalisadores necessários. A MPCVD é muito utilizada na rede ANFF para depositar camadas de diamante utilizando metano e hidrogénio para fazer crescer novo diamante num substrato semeado com diamante. É uma tecnologia promissora para a produção de grandes diamantes de baixo custo e alta qualidade e é amplamente utilizada na indústria de semicondutores e de corte de diamantes.

O Que é A Máquina Mpcvd?

A máquina MPCVD (Microwave Plasma Chemical Vapor Deposition) é um equipamento de laboratório utilizado para produzir películas de diamante de alta qualidade. Utiliza um gás contendo carbono e um plasma de micro-ondas para criar uma bola de plasma acima do substrato de diamante, que o aquece a uma temperatura específica. A bola de plasma não entra em contacto com a parede da cavidade, tornando o processo de crescimento do diamante isento de impurezas e melhorando a qualidade do diamante. O sistema MPCVD é constituído por uma câmara de vácuo, um gerador de micro-ondas e um sistema de fornecimento de gás que controla o fluxo de gás para a câmara.

Quais São As Vantagens Do Mpcvd?

O MPCVD tem várias vantagens sobre outros métodos de produção de diamantes, como maior pureza, menor consumo de energia e a capacidade de produzir diamantes maiores.

Os Diamantes CVD São Reais Ou Falsos?

Os diamantes CVD são diamantes verdadeiros e não falsos. Eles são cultivados em laboratório através de um processo chamado Deposição Química de Vapor (CVD). Ao contrário dos diamantes naturais que são extraídos da superfície da terra, os diamantes CVD são criados usando tecnologia avançada em laboratórios. Estes diamantes são 100% carbono e são a forma mais pura de diamantes, conhecidos como diamantes Tipo IIa. Eles têm as mesmas propriedades ópticas, térmicas, físicas e químicas que os diamantes naturais. A única diferença é que os diamantes CVD são criados em um laboratório e não extraídos da terra.
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Folha de Dados do Produto

915MHz MPCVD Máquina de Diamante Sistema de Reator de Deposição Química de Vapor de Plasma de Micro-ondas

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