Os alvos de pulverização catódica variam muito em tamanho, desde menos de uma polegada (2,5 cm) de diâmetro até mais de uma jarda (0,9 m) de comprimento para alvos rectangulares. Os alvos redondos padrão normalmente variam de 1" a 20" de diâmetro, enquanto os alvos retangulares podem ter até e mais de 2000 mm de comprimento.
Explicação pormenorizada:
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Variabilidade de tamanho: O tamanho dos alvos de pulverização catódica depende muito dos requisitos específicos da película fina que está a ser criada. Os alvos pequenos, muitas vezes com menos de uma polegada de diâmetro, são adequados para aplicações que requerem uma menor deposição de material. Por outro lado, os alvos maiores, que podem exceder um metro de comprimento, são utilizados em aplicações que requerem uma quantidade significativa de deposição de material.
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Forma e personalização: Tradicionalmente, os alvos de pulverização catódica são rectangulares ou circulares. No entanto, os avanços no fabrico levaram à produção de alvos com várias formas, incluindo quadrados, triângulos e formas cilíndricas, como o alvo rotativo. Estas formas especializadas são concebidas para otimizar o processo de deposição, oferecendo taxas de deposição mais precisas e mais rápidas.
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Segmentação: Para aplicações de pulverização catódica muito grandes, os alvos de peça única podem não ser viáveis devido a limitações técnicas ou restrições do equipamento. Nesses casos, os alvos são segmentados em peças mais pequenas que são depois unidas utilizando juntas especiais como as juntas de topo ou biseladas. Esta abordagem permite a criação de alvos de grandes dimensões sem comprometer a integridade do processo de deposição.
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Tamanhos padrão e personalizados: Os fabricantes oferecem normalmente uma gama de tamanhos padrão para alvos redondos e rectangulares. No entanto, também aceitam pedidos personalizados, permitindo aos clientes especificar as dimensões que melhor se adequam às suas necessidades específicas de aplicação. Esta flexibilidade garante que o processo de pulverização catódica pode ser adaptado para satisfazer os requisitos exactos de várias indústrias e aplicações.
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Considerações sobre pureza e material: O tamanho e a forma do alvo não são as únicas considerações; a pureza do material também é crucial. Os alvos estão disponíveis em vários níveis de pureza, de 99,5% a 99,9999%, consoante o metal e a aplicação. Níveis de pureza mais elevados podem melhorar a qualidade da película fina, mas podem também aumentar os custos do material. Por conseguinte, a seleção do nível de pureza adequado é um equilíbrio entre o custo e o desempenho.
Em resumo, os alvos de pulverização catódica estão disponíveis numa vasta gama de tamanhos e formas, com a opção de personalização para satisfazer as necessidades específicas da aplicação. A escolha do tamanho e da forma do alvo é influenciada pela taxa de deposição desejada, pelo tamanho do substrato e pelos requisitos específicos da aplicação da película fina.
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