Uma bomba de vácuo de fase única tem uma câmara de bomba, enquanto uma bomba de vácuo de duas fases tem duas câmaras de bomba ligadas em série. A principal diferença entre as duas é a taxa de compressão e o nível de vácuo que podem atingir.
Numa bomba de vácuo de fase única, a câmara da bomba sai diretamente para a atmosfera. Pode atingir um nível de vácuo aproximado ou baixo, normalmente até cerca de 1 milibar de pressão. Este tipo de bomba é normalmente utilizado para aplicações que não requerem um nível de vácuo elevado, como os processos industriais gerais.
Por outro lado, uma bomba de vácuo de duas fases utiliza dois conjuntos de rotores e palhetas. A primeira fase, conhecida como a fase de baixo vácuo, recebe o gás do processo e transfere-o para a segunda fase, conhecida como a fase de alto vácuo. A fase de alto vácuo comprime o gás até à pressão atmosférica, resultando num melhor nível de vácuo. As bombas de vácuo de duas fases podem atingir níveis de vácuo mais elevados, normalmente na gama de 10^-3 a 10^-4 milibares.
As bombas de vácuo de duas fases são preferidas em aplicações industriais em que é necessário um nível de vácuo mais elevado, como na produção de níveis de vácuo ultra-elevado (UHV). Os níveis de vácuo UHV são caracterizados por pressões inferiores a cerca de 100 nanopascal (10^-7 pascal, 10^-9 mbar, ~10^-9 torr). Estes níveis de vácuo são normalmente necessários em indústrias como o fabrico de semicondutores, laboratórios de investigação e revestimento a vácuo.
Em resumo, a diferença entre as bombas de vácuo de fase única e de duas fases reside no número de câmaras da bomba e nos níveis de vácuo resultantes que podem atingir. Uma bomba de fase única tem uma câmara e pode atingir um vácuo aproximado, enquanto uma bomba de duas fases tem duas câmaras e pode atingir níveis de vácuo mais elevados, particularmente na gama de vácuo ultra-alto.
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