Uma bomba de vácuo por difusão é um tipo de bomba de vácuo que funciona sem peças móveis, utilizando o vapor de um fluido em ebulição para capturar e remover moléculas de ar de uma câmara, atingindo assim níveis de vácuo elevados que variam entre 10^-2 e 10^-10 torr. Este tipo de bomba é diferente das bombas mecânicas, que utilizam mecanismos físicos como pistões ou aletas para deslocar o ar. As bombas de difusão são classificadas como bombas de arrastamento de fluido, em que o vapor do fluido de trabalho actua para prender as moléculas de ar, que são depois dirigidas e arrefecidas, libertando as moléculas de ar num local diferente. Este processo é crucial em várias aplicações industriais, tais como microscopia de feixe de electrões, deposição de vácuo, revestimentos e fornos de vácuo.
O funcionamento de uma bomba de vácuo de difusão envolve a utilização de uma bomba de retenção para manter uma pressão baixa na linha de vácuo, assegurando que os óleos da bomba não recuem para a câmara. Isto é conseguido através da bombagem de vácuo automática e interligada, combinada com a sequência correcta das válvulas de vácuo. A conceção e o funcionamento da bomba são optimizados para evitar a contaminação da câmara de vácuo com o fluido da bomba, o que é essencial para manter a integridade do ambiente de vácuo.
Nos sistemas de vácuo, as bombas de difusão são frequentemente utilizadas em conjunto com outros tipos de bombas, tais como bombas mecânicas ou de palhetas rotativas, para atingir o nível de vácuo desejado. As bombas mecânicas são normalmente utilizadas para a bombagem inicial da pressão atmosférica para um nível intermédio, enquanto as bombas de difusão são utilizadas para atingir pressões inferiores às que as bombas mecânicas sozinhas podem gerar. Esta combinação de bombas é comum em fornos de vácuo e noutras aplicações de alto vácuo em que é fundamental manter um ambiente de vácuo limpo e estável.
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