As fontes de evaporação térmica são componentes essenciais em vários processos científicos e industriais. São utilizadas para vaporizar materiais a altas temperaturas para deposição em substratos. Os materiais utilizados nestas fontes são cuidadosamente selecionados pelas suas propriedades únicas.
5 pontos-chave a saber sobre os materiais utilizados nas fontes de evaporação térmica
1.Materiais primários: Tungsténio, Molibdénio e Tântalo
Estes materiais são os mais utilizados nas fontes de evaporação térmica. Eles são escolhidos por sua alta pureza, altos pontos de fusão e baixas pressões de vapor. Isto torna-os ideais para fontes de evaporação com aquecimento resistivo.
2.Propriedades refractárias
O tungsténio, o molibdénio e o tântalo são conhecidos pelas suas propriedades refractárias. Isto significa que podem suportar temperaturas extremamente elevadas sem se degradarem. Isto é crucial para o processo de evaporação, em que o material de origem é aquecido até ao seu ponto de fusão ou superior.
3.Diferentes formas de fontes de evaporação
As fontes de evaporação térmica existem em várias formas para atender a diferentes necessidades:
- Barcos: Estes são normalmente utilizados e existem em vários tamanhos. Os barcos maiores requerem maior potência, mas podem suportar taxas de deposição mais elevadas.
- Cestos: Estes são adequados para suportar cadinhos e são utilizados para materiais que necessitam de contenção durante a evaporação.
- Filamentos: Estes são normalmente utilizados para materiais que podem ser evaporados a temperaturas mais baixas ou para aplicações de menor escala.
- Varetas revestidas: Podem ser utilizadas quando é necessário um revestimento específico da superfície para melhorar o processo de evaporação ou para evitar a contaminação.
4.Aplicações e conceção
A conceção da fonte de evaporação é fundamental para aplicações específicas, como o OLED e o revestimento múltiplo no fabrico de ecrãs planos. As fontes são concebidas para otimizar o processo de evaporação, garantindo uma deposição eficiente e uniforme dos materiais.
5.Fonte de alimentação e controlo
As fontes de evaporação térmica requerem normalmente uma fonte de energia eléctrica com baixa tensão e correntes elevadas. A demanda de energia é geralmente alta, especialmente para fontes de evaporação de barco. Para controlar a velocidade de evaporação e a taxa de deposição, os sistemas de evaporação térmica utilizam frequentemente microbalanças de cristal de quartzo (QCMs) e outras configurações de software ou hardware.
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