Os materiais utilizados nas fontes de evaporação térmica incluem principalmente o tungsténio, o molibdénio e o tântalo. Estes materiais são escolhidos pela sua elevada pureza, elevados pontos de fusão e baixas pressões de vapor, tornando-os adequados para fontes de evaporação aquecidas por resistência. Estas fontes apresentam-se sob várias formas, como barcos, cestos, filamentos e varetas revestidas, cada uma concebida para suportar diferentes tipos de evaporantes e aplicações.
Tungsténio, molibdénio e tântalo: Estes materiais são normalmente utilizados no fabrico de fontes de evaporação devido às suas propriedades refractárias. Podem suportar temperaturas elevadas sem degradação significativa, o que é crucial para o processo de evaporação em que o material de origem é aquecido até ao seu ponto de fusão ou superior para vaporizar e depositar num substrato.
Formas de Fontes de Evaporação:
- Barcos: Estes são normalmente utilizados e existem em vários tamanhos. Os barcos maiores requerem maior potência para a mesma taxa de deposição, mas podem suportar taxas de deposição máximas mais elevadas.
- Cestos: Estes incluem os adequados para suportar cadinhos e são utilizados para materiais que possam necessitar de contenção durante a evaporação.
- Filamentos: Estes são normalmente utilizados para materiais que podem ser evaporados a temperaturas mais baixas ou para aplicações de menor escala.
- Varetas revestidas: Podem ser utilizadas quando é necessário um revestimento de superfície específico para melhorar o processo de evaporação ou para evitar a contaminação.
Aplicações e design:
A conceção da fonte de evaporação é fundamental para aplicações específicas, como o OLED/revestimento múltiplo no fabrico de ecrãs planos. As fontes são especificamente concebidas para otimizar o processo de evaporação, garantindo uma deposição eficiente e uniforme dos materiais.Fonte de alimentação e controlo:
As fontes de evaporação térmica requerem normalmente uma fonte de energia eléctrica com baixa tensão e correntes elevadas. A demanda de energia é geralmente alta, especialmente para fontes de evaporação de barco. Para controlar a velocidade de evaporação e a taxa de deposição, os sistemas de evaporação térmica utilizam frequentemente microbalanças de cristais de quartzo (QCMs) e outras configurações de software ou hardware para gerir a taxa de evaporação e as propriedades da película.
Materiais evaporantes:
