O revestimento de ouro por pulverização catódica é um processo crucial na microscopia eletrónica de varrimento (SEM). Ajuda a evitar o carregamento e a melhorar a qualidade das imagens. A espessura deste revestimento varia normalmente entre 2 e 20 nanómetros. Esta camada ultrafina é aplicada a amostras não condutoras ou pouco condutoras. Melhora a relação sinal/ruído, aumentando a emissão de electrões secundários.
5 pontos-chave explicados
1. Objetivo e aplicação
O revestimento de ouro por pulverização catódica é utilizado principalmente no SEM para revestir amostras não condutoras ou pouco condutoras. Este revestimento é essencial porque impede a acumulação de campos eléctricos estáticos na amostra. De outro modo, isto poderia interferir com o processo de obtenção de imagens. Além disso, o revestimento metálico aumenta a emissão de electrões secundários a partir da superfície do espécime. Isto melhora a visibilidade e a clareza das imagens captadas pelo SEM.
2. Intervalo de espessura
A espessura típica das películas de ouro pulverizado para MEV situa-se entre 2 e 20 nanómetros. Esta gama é escolhida para assegurar que o revestimento é suficientemente fino para não obscurecer os detalhes finos da amostra. É também suficientemente espesso para proporcionar uma condutividade eléctrica e uma emissão de electrões secundários adequadas.
3. Exemplos e técnicas específicos
Num exemplo, uma bolacha de 6" foi revestida com 3 nanómetros de ouro/paládio (Au/Pd) utilizando um Sputter Coater SC7640. As definições utilizadas foram 800V e 12mA com gás árgon e um vácuo de 0,004 bar. Verificou-se que este revestimento era uniforme em toda a bolacha. Outro exemplo envolve a deposição de uma película de platina de 2 nanómetros sobre uma película de Formvar revestida de carbono, utilizando também o SC7640 Sputter Coater. As definições foram 800V e 10mA com gás árgon e um vácuo de 0,004 bar.
4. Detalhes técnicos e fórmulas
A espessura do revestimento Au/Pd pode ser calculada utilizando a fórmula: [ Th = 7,5 I t ]. Aqui, ( Th ) é a espessura em angstroms, ( I ) é a corrente em mA, e ( t ) é o tempo em minutos. Esta fórmula é aplicável quando a tensão é de 2,5KV e a distância entre o alvo e a amostra é de 50mm.
5. Limitações e adequação
O ouro não é ideal para a obtenção de imagens de grande ampliação devido ao seu elevado rendimento de electrões secundários. Isto leva a uma rápida pulverização catódica e à formação de grandes ilhas ou grãos no revestimento. Estas estruturas podem ser visíveis em grandes ampliações, potencialmente obscurecendo os detalhes da superfície da amostra. Por conseguinte, a pulverização catódica de ouro é mais adequada para a obtenção de imagens com ampliações mais baixas, normalmente inferiores a 5000×.
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