A espessura do revestimento de ouro por pulverização catódica varia normalmente entre 2 e 20 nm para aplicações de SEM. Este revestimento ultrafino é aplicado a amostras não condutoras ou pouco condutoras para evitar o carregamento e melhorar a relação sinal/ruído, aumentando a emissão de electrões secundários.
Explicação pormenorizada:
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Objetivo e aplicação:
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O revestimento de ouro por pulverização catódica é utilizado principalmente na microscopia eletrónica de varrimento (SEM) para revestir amostras não condutoras ou pouco condutoras. Este revestimento é essencial porque evita a acumulação de campos eléctricos estáticos na amostra, que de outra forma poderiam interferir com o processo de obtenção de imagens. Além disso, o revestimento metálico aumenta a emissão de electrões secundários da superfície da amostra, melhorando a visibilidade e a clareza das imagens captadas pelo SEM.Faixa de espessura:
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- Os materiais de referência indicam que a espessura típica das películas de ouro pulverizado para SEM se situa entre 2 e 20 nm. Esta gama é escolhida para assegurar que o revestimento é suficientemente fino para não obscurecer os detalhes finos da amostra, mas suficientemente espesso para proporcionar uma condutividade eléctrica adequada e emissão de electrões secundários.
- Exemplos e técnicas específicos:
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Num exemplo, uma bolacha de 6" foi revestida com 3 nm de ouro/paládio (Au/Pd) utilizando um Sputter Coater SC7640. As definições utilizadas foram 800V e 12mA com gás árgon e um vácuo de 0,004 bar. Verificou-se que este revestimento era uniforme em toda a bolacha.Outro exemplo envolve a deposição de uma película de platina de 2 nm numa película de Formvar revestida de carbono, também utilizando o SC7640 Sputter Coater. As definições foram 800V e 10mA com gás árgon e um vácuo de 0,004 bar.
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Detalhes técnicos e fórmulas:
A espessura do revestimento Au/Pd pode ser calculada utilizando a fórmula:
[ Th = 7,5 I t ]
