Para atingir um vácuo elevado, é normalmente utilizada uma combinação de bombas, sendo uma bomba turbomolecular ou uma bomba de difusão de óleo a escolha principal para níveis de vácuo elevados. Estas bombas são especializadas para atingir pressões muito baixas e são frequentemente utilizadas em série com uma pré-bomba, como uma bomba de palhetas rotativas ou uma bomba de rolagem a seco.
Bombas turbomoleculares:
As bombas turbomoleculares são concebidas para funcionar a níveis de vácuo muito elevados, normalmente abaixo de 10^-7 mbar. Funcionam utilizando lâminas rotativas para dar impulso às moléculas de gás numa direção oposta à direção do fluxo de gás, bombeando efetivamente o gás para fora do sistema. Estas bombas são altamente eficientes na remoção de gases e são normalmente utilizadas em aplicações que requerem vácuo ultra-elevado, como no fabrico de semicondutores, investigação científica e câmaras de simulação espacial.Bombas de difusão de óleo:
As bombas de difusão de óleo são outro tipo de bomba utilizada em aplicações de alto vácuo. Funcionam dirigindo um jato de vapor de óleo a alta velocidade contra as paredes de uma câmara, que depois se condensa e regressa à caldeira. As moléculas de gás na câmara são impulsionadas pelos jactos de vapor de óleo em direção a uma saída onde são recolhidas e removidas. Estas bombas podem atingir níveis de vácuo até 10^-7 mbar e são frequentemente utilizadas em aplicações científicas e industriais em que é necessário vácuo elevado.
Tanto as bombas turbomoleculares como as bombas de difusão de óleo requerem uma bomba de apoio (como uma bomba de palhetas rotativas) para manter uma pressão suficientemente baixa à entrada para funcionarem eficazmente. A bomba de apoio cria um vácuo grosseiro, que é depois refinado pela bomba de alto vácuo para atingir as pressões ultra-baixas desejadas.
