A limpeza de um alvo de pulverização catódica é crucial para conseguir uma deposição de película fina de alta qualidade.
Aqui está um guia passo a passo para garantir que o seu alvo de pulverização catódica está limpo e pronto a ser utilizado.
Como é que se limpa um alvo de pulverização catódica? 4 Passos e Precauções Essenciais
Passo 1: Limpar com um pano macio que não largue pêlos embebido em acetona
Isto ajudará a remover qualquer pó ou sujidade que possa estar presente na superfície do alvo.
Passo 2: Limpar com álcool
Este passo ajuda a remover quaisquer contaminantes ou resíduos no alvo.
Passo 3: Limpar com água desionizada
A água desionizada é utilizada para garantir que quaisquer impurezas ou resíduos remanescentes são completamente removidos do alvo.
Passo 4: Secar o alvo num forno
Após a limpeza com água desionizada, coloque o alvo na estufa e seque a 100 ℃ durante 30 minutos.
Este passo é importante para garantir que o alvo está completamente seco antes de continuar a ser utilizado.
Precauções durante o processo de pulverização catódica
1. Preparação da pulverização
É importante manter a câmara de vácuo e o sistema de pulverização catódica limpos.
Quaisquer resíduos ou contaminantes podem aumentar a possibilidade de falha da película ou de curto-circuitos no sistema.
2. Instalação do alvo
Assegurar uma boa ligação térmica entre o alvo e a parede estabilizadora da pistola de pulverização catódica.
Se a placa de arrefecimento ou a placa de suporte estiver deformada, pode afetar a condutividade térmica e provocar fissuras ou dobras no alvo.
3. Manter a limpeza do gás de pulverização catódica
O gás de pulverização catódica, como o árgon ou o oxigénio, deve estar limpo e seco para manter as caraterísticas da composição do revestimento.
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