A principal diferença entre a evaporação por feixe eletrónico e a evaporação térmica reside no método utilizado para vaporizar o material. A evaporação térmica utiliza uma corrente eléctrica para aquecer um cadinho, que derrete e evapora o material de origem, enquanto a evaporação por feixe eletrónico utiliza um feixe de electrões de alta energia para aquecer diretamente o material de origem.
Evaporação térmica:
A evaporação térmica é um processo de Deposição Física de Vapor (PVD) em que um material é vaporizado com recurso ao calor. Neste método, um cadinho contendo o material é aquecido a uma temperatura elevada, provocando a vaporização do material. O material vaporizado condensa-se então num substrato para formar uma película fina. Esta técnica é adequada para materiais com pontos de fusão mais baixos, tais como metais e alguns não-metais. No entanto, a evaporação térmica pode resultar em revestimentos de película fina menos densos e num maior risco de impurezas devido ao facto de o cadinho ser aquecido, o que pode introduzir contaminantes.Evaporação por feixe de electrões:
- A evaporação por feixe de electrões é também uma forma de PVD em que o material alvo é bombardeado com um feixe de electrões proveniente de um filamento de tungsténio carregado. Este feixe de alta energia evapora o material, convertendo-o num estado gasoso para deposição no material a revestir. Este processo ocorre numa câmara de alto vácuo, garantindo que os átomos ou moléculas na fase de vapor precipitam e formam um revestimento de película fina no substrato. A evaporação por feixe de electrões é capaz de lidar com materiais a temperaturas mais elevadas, como os óxidos, e resulta normalmente em películas de maior pureza e numa taxa de deposição mais elevada em comparação com a evaporação térmica.Comparação:
- Método de aquecimento: A evaporação térmica utiliza corrente eléctrica para aquecer um cadinho, enquanto a evaporação por feixe eletrónico utiliza um feixe de electrões de alta energia para aquecer diretamente o material.
- Adequação do material: A evaporação térmica é mais adequada para materiais com pontos de fusão mais baixos, enquanto a evaporação por feixe eletrónico pode lidar com materiais com pontos de fusão mais elevados.
- Pureza e densidade: A evaporação por feixe eletrónico produz geralmente películas com maior pureza e densidade devido ao aquecimento direto do material e ao facto de evitar a contaminação do cadinho.
Taxa de deposição:
A evaporação por feixe de electrões tem, normalmente, uma taxa de deposição mais elevada do que a evaporação térmica.
