Quando se trata de vaporizar materiais para a deposição de película fina, dois métodos comuns são a evaporação por feixe eletrónico e a evaporação térmica.
5 pontos-chave a considerar
1. Método de aquecimento
A evaporação térmica utiliza uma corrente eléctrica para aquecer um cadinho. Isso faz com que o material dentro do cadinho derreta e depois evapore.
A evaporação por feixe de electrões, por outro lado, utiliza um feixe de electrões de alta energia para aquecer diretamente o material. Este feixe provém de um filamento de tungsténio carregado.
2. Adequação do material
A evaporação térmica é ideal para materiais com pontos de fusão mais baixos, como os metais e alguns não-metais.
A evaporação por feixe de electrões pode tratar materiais com pontos de fusão mais elevados, incluindo óxidos.
3. Pureza e densidade
A evaporação por feixe de electrões produz geralmente películas com maior pureza e densidade. Isto deve-se ao facto de o material ser diretamente aquecido, evitando a contaminação de um cadinho.
A evaporação térmica pode resultar em revestimentos de película fina menos densos e num maior risco de impurezas devido ao facto de o cadinho ser aquecido.
4. Taxa de deposição
A evaporação por feixe de electrões tem, normalmente, uma taxa de deposição mais elevada do que a evaporação térmica. Isto significa que pode depositar películas finas mais rapidamente.
5. Ambiente do processo
A evaporação por feixe de electrões ocorre numa câmara de alto vácuo. Isto assegura que os átomos ou moléculas na fase de vapor precipitem e formem um revestimento de película fina no substrato.
A evaporação térmica também ocorre num ambiente controlado, mas o processo é diferente devido à utilização de um cadinho.
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