O feixe de electrões na evaporação por feixe de electrões (E-beam) é utilizado para aquecer e vaporizar uma amostra num ambiente de vácuo.
Explicação das 4 etapas principais
1. Geração e orientação do feixe de electrões
O feixe de electrões é gerado a partir de um filamento.
É acelerado até atingir uma energia cinética elevada (até 10 kV) através de um campo elétrico de alta tensão.
São utilizados campos eléctricos e magnéticos para dirigir o feixe com precisão para o material de origem.
O material de origem apresenta-se geralmente sob a forma de pastilhas ou de um bloco colocado num cadinho.
2. Transferência de energia e vaporização
Quando o feixe de electrões incide sobre o material de origem, a sua energia cinética é convertida em calor.
Isto faz aumentar a temperatura do material.
À medida que o material aquece, os átomos da sua superfície ganham energia suficiente para ultrapassar as forças de ligação que os prendem ao material a granel.
Isto leva-os a abandonar a superfície sob a forma de vapor.3. Evaporação e deposiçãoOs átomos ou moléculas vaporizados atravessam a câmara de vácuo com energia térmica (menos de 1 eV).Não são perturbados por outras partículas, assegurando uma deposição "em linha de vista" num substrato posicionado a uma distância de trabalho de 300 mm a 1 metro.
