Quando se trata de plasma em pulverização catódica, o gás utilizado é normalmente um gás inerte.
O árgon é a escolha mais comum e económica entre estes gases inertes.
Os gases inertes como o árgon, o crípton, o xénon e o néon são preferidos porque não reagem com o material alvo ou com o substrato.
Eles fornecem um meio para a formação de plasma sem alterar a composição química dos materiais envolvidos.
Que gás é usado para o plasma na pulverização catódica? (4 pontos-chave explicados)
1. Seleção do gás inerte
A escolha de um gás inerte é crucial na pulverização catódica porque o gás não deve reagir quimicamente com o material alvo ou com o substrato.
Isto assegura que o processo de deposição permanece quimicamente estável e não introduz compostos indesejados na película depositada.
O árgon é o gás mais utilizado devido à sua disponibilidade e rentabilidade.
Tem um peso atómico adequado que permite uma transferência de momento eficiente durante o processo de pulverização catódica, o que é essencial para taxas elevadas de pulverização catódica e deposição.
2. Formação do plasma
O plasma é criado através da ionização do gás de pulverização catódica dentro de uma câmara de vácuo.
O gás é introduzido a baixa pressão, normalmente alguns miliTorr, e é aplicada uma tensão DC ou RF para ionizar os átomos do gás.
Este processo de ionização forma um plasma, que consiste em iões de carga positiva e electrões livres.
O ambiente do plasma é dinâmico, com átomos de gás neutro, iões, electrões e fotões em quase equilíbrio.
Este ambiente facilita a transferência de energia necessária para o processo de pulverização catódica.
3. Processo de pulverização catódica
Durante a pulverização catódica, o material alvo é bombardeado com iões provenientes do plasma.
A transferência de energia destes iões faz com que as partículas do material alvo sejam ejectadas e depositadas no substrato.
A taxa de pulverização, que é a taxa à qual o material é removido do alvo e depositado no substrato, depende de vários factores, incluindo o rendimento da pulverização, o peso molar do alvo, a densidade do material e a densidade da corrente iónica.
4. Variações na seleção do gás
Embora o árgon seja a escolha mais comum, a seleção do gás de pulverização pode ser adaptada com base no peso atómico do material alvo.
Para os elementos mais leves, podem ser preferidos gases como o néon, enquanto que para os elementos mais pesados, podem ser utilizados o crípton ou o xénon para otimizar a transferência de momento.
Os gases reactivos também podem ser utilizados em determinados processos de pulverização catódica para formar compostos na superfície do alvo, em voo, ou no substrato, dependendo dos parâmetros específicos do processo.
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