A pulverização catódica é um processo físico fascinante em que partículas minúsculas de um material sólido são ejectadas da sua superfície.
Isto acontece quando o material é bombardeado por partículas energéticas, normalmente iões gasosos, que são acelerados a partir de um plasma.
É importante notar que a pulverização catódica é um processo de vaporização não térmico.
Isto significa que não envolve o aquecimento do material a temperaturas extremamente altas.
O que acontece na pulverização catódica? 5 etapas principais explicadas
1. Configuração do substrato
O processo começa com um substrato que precisa de ser revestido.
Este substrato é colocado dentro de uma câmara de vácuo cheia de um gás inerte, normalmente árgon.
2. Aplicação de uma carga
É aplicada uma carga negativa a um material de origem alvo.
Este material acabará por ser depositado no substrato.
Esta carga provoca a incandescência do plasma.
3. Colisões de electrões
Os electrões livres fluem do material alvo carregado negativamente no ambiente de plasma.
Estes electrões colidem com a camada eletrónica exterior dos átomos do gás árgon.
A colisão força estes electrões a saírem devido à sua carga semelhante.
4. Atração de iões
Os átomos de gás árgon transformam-se em iões de carga positiva.
Estes iões são atraídos para o material alvo carregado negativamente a uma velocidade muito elevada.
Esta atração a alta velocidade resulta na "pulverização catódica" de partículas de tamanho atómico do material alvo devido ao impulso das colisões.
5. Deposição de película fina
As partículas pulverizadas atravessam então a câmara de deposição em vácuo do equipamento de revestimento por pulverização catódica.
São depositadas como uma película fina de material na superfície do substrato a ser revestido.
Esta película fina pode ser utilizada para várias aplicações em ótica, eletrónica e nanotecnologia.
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