O revestimento para SEM envolve normalmente a aplicação de uma camada fina de material condutor, como ouro, platina ou uma liga de ouro/irídio/platina, a amostras não condutoras ou pouco condutoras. Este revestimento é crucial para evitar o carregamento da superfície da amostra sob o feixe de electrões, aumentar a emissão de electrões secundários e melhorar a relação sinal/ruído, conduzindo a imagens mais nítidas e estáveis. Além disso, os revestimentos podem proteger as amostras sensíveis ao feixe e reduzir os danos térmicos.
Revestimentos condutores:
Os revestimentos mais comuns utilizados no SEM são metais como o ouro, a platina e as ligas destes metais. Estes materiais são escolhidos pela sua elevada condutividade e rendimento de electrões secundários, o que melhora significativamente as capacidades de imagem do SEM. Por exemplo, o revestimento de uma amostra com apenas alguns nanómetros de ouro ou platina pode aumentar drasticamente a relação sinal/ruído, resultando em imagens nítidas e claras.
- Benefícios dos revestimentos metálicos:Redução dos danos causados pelo feixe:
- Os revestimentos metálicos podem proteger a amostra da exposição direta ao feixe de electrões, reduzindo a probabilidade de danos.Aumento da condução térmica:
- Ao conduzir o calor para longe da amostra, os revestimentos metálicos ajudam a evitar danos térmicos que poderiam alterar a estrutura ou as propriedades da amostra.Redução do carregamento da amostra:
- A camada condutora evita a acumulação de cargas electrostáticas na superfície da amostra, que podem distorcer a imagem e interferir com o funcionamento do feixe de electrões.Melhoria da emissão de electrões secundários:
- Os revestimentos metálicos melhoram a emissão de electrões secundários, que são cruciais para a obtenção de imagens no SEM.Redução da penetração do feixe e melhoria da resolução de bordas:
Os revestimentos metálicos podem reduzir a profundidade de penetração do feixe de electrões, melhorando a resolução das características da superfície.Revestimento por pulverização catódica:
O revestimento por pulverização catódica é o método padrão para aplicar estas camadas condutoras. Envolve um processo de deposição por pulverização catódica em que um alvo metálico é bombardeado com iões de árgon, fazendo com que os átomos do metal sejam ejectados e depositados na amostra. Este método permite o controlo preciso da espessura e uniformidade do revestimento, o que é fundamental para um desempenho ótimo do SEM.
Considerações sobre a espetroscopia de raios X:
Quando é utilizada a espetroscopia de raios X, os revestimentos metálicos podem interferir com a análise. Nestes casos, é preferível um revestimento de carbono, uma vez que não introduz elementos adicionais que possam complicar a análise espectroscópica.Capacidades modernas de SEM:
