A análise XRF, ou análise por fluorescência de raios X, é uma técnica poderosa utilizada para medir a espessura dos materiais.
A gama da análise XRF vai desde uma espessura mínima de deteção de aproximadamente 1 nm até um máximo de cerca de 50 µm.
Abaixo de 1 nm, os raios X caraterísticos são obscurecidos pelo ruído.
Acima de 50 µm, a espessura satura, impedindo que os raios X adicionais cheguem ao detetor.
Qual é o intervalo de análise XRF? (1 nm a 50 µm)
1. Espessura mínima de deteção (1 nm)
Em espessuras inferiores a 1 nm, os raios X caraterísticos emitidos pelo material em análise não são detectáveis.
Isto deve-se ao facto de estarem submersos no sinal de ruído.
Esta limitação deve-se à sensibilidade fundamental da tecnologia XRF e ao ruído de fundo inerente ao processo de deteção.
2. Espessura máxima de deteção (50 µm)
Quando a espessura do material é superior a 50 µm, os raios X emitidos pelas camadas interiores do material não conseguem penetrar nas camadas exteriores para atingir o detetor.
Isto resulta num efeito de saturação em que o aumento da espessura para além deste ponto não produz raios X adicionais detectáveis.
Isto deve-se ao facto de os raios X serem absorvidos ou dispersos pelo material sobrejacente, impedindo-os de atingir o detetor.
Assim, não podem ser medidas mais alterações na espessura.
Estes limites definem a gama prática da análise por XRF em termos de espessura do material.
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