A pulverização catódica é um processo físico em que os átomos de um material alvo sólido são ejectados para a fase gasosa devido ao bombardeamento por iões energéticos. Este processo é amplamente utilizado na deposição de películas finas e em várias técnicas analíticas. O mecanismo de pulverização catódica envolve a troca de momento entre os iões incidentes e os átomos do alvo, levando à ejeção de átomos da superfície do alvo.
Mecanismo de pulverização catódica:
O processo de pulverização catódica pode ser visualizado como uma série de colisões a nível atómico, semelhante a um jogo de bilhar. Os iões energéticos (análogos à bola branca) atingem um material alvo (análogo a um conjunto de bolas de bilhar). A colisão primária transfere energia para os átomos alvo, iniciando uma cascata de colisões no interior do material. Como resultado, alguns átomos perto da superfície ganham energia suficiente para ultrapassar as forças de ligação do sólido e são ejectados.Rendimento da pulverização catódica:
A eficiência do processo de pulverização catódica é quantificada pelo rendimento da pulverização catódica, que é o número de átomos ejectados da superfície por cada ião incidente. Os factores que influenciam o rendimento de pulverização incluem a energia e a massa dos iões incidentes, a massa dos átomos do alvo e a energia de ligação do sólido. Uma energia e massa mais elevadas dos iões incidentes aumentam geralmente o rendimento da pulverização.
Aplicações da pulverização catódica:
A pulverização catódica é amplamente utilizada na deposição de películas finas, que são cruciais em várias indústrias, incluindo a eletrónica, a ótica e a nanotecnologia. A técnica permite a deposição precisa de materiais a baixas temperaturas, tornando-a adequada para o revestimento de substratos sensíveis como vidro, metais e semicondutores. A pulverização catódica também é utilizada em técnicas analíticas e processos de gravação, permitindo a criação de padrões e estruturas complexas.Tipos de técnicas de Sputtering:
