A espessura típica do revestimento de ouro para aplicações de SEM (Microscopia Eletrónica de Varrimento) varia entre 2 e 20 nm. Esta camada ultrafina de ouro é aplicada através de um processo denominado revestimento por pulverização catódica, que envolve a deposição de um metal condutor em amostras não condutoras ou pouco condutoras. O principal objetivo deste revestimento é evitar o carregamento da amostra devido à acumulação de campos eléctricos estáticos e melhorar a deteção de electrões secundários, melhorando assim a relação sinal/ruído e a qualidade geral da imagem no SEM.
O ouro é o material mais utilizado para este tipo de revestimento devido à sua baixa função de trabalho, tornando-o muito eficiente para o revestimento. Quando se utilizam revestimentos por pulverização catódica a frio, o processo de pulverização de camadas finas de ouro resulta num aquecimento mínimo da superfície da amostra. O tamanho do grão do revestimento de ouro, que é visível sob grandes ampliações nos modernos SEMs, varia tipicamente entre 5 e 10 nm. Este facto é particularmente importante para manter a integridade e a visibilidade da amostra em análise.
Em aplicações específicas, como o revestimento de uma bolacha de 6" com ouro/paládio (Au/Pd), foi utilizada uma espessura de 3 nm. Isto foi conseguido utilizando o Sputter Coater SC7640 com definições de 800V e 12mA, utilizando gás árgon e um vácuo de 0,004 bar. A distribuição uniforme deste revestimento fino em toda a bolacha foi confirmada através de testes subsequentes.
Em geral, a espessura do revestimento de ouro em aplicações SEM é meticulosamente controlada para garantir um desempenho ótimo sem alterar significativamente as características da amostra. A escolha do ouro como material de revestimento é estratégica, tendo em conta as suas propriedades condutoras e a interferência mínima na análise da amostra, especialmente quando se utilizam técnicas como a espetroscopia de raios X por dispersão de energia (EDX).
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