A corrente dos iões de pulverização num processo de pulverização é determinada pela tensão aplicada e pelo tipo de técnica de pulverização utilizada. Na pulverização catódica de díodos DC, é aplicada uma tensão DC de 500 - 1000 V, que inflama um plasma de árgon a baixa pressão entre um alvo e um substrato. Os iões de árgon positivos são então acelerados em direção ao alvo devido a esta tensão, fazendo com que os átomos sejam ejectados do alvo e depositados no substrato.
Na pulverização catódica por radiofrequência, é utilizada uma corrente alternada com frequências de cerca de 14 MHz. Isto permite a pulverização catódica de materiais isolantes, uma vez que os electrões podem ser acelerados para oscilar com a RF, enquanto os iões mais pesados reagem apenas à tensão média gerada no sistema de RF. Os iões são afectados pela tensão de polarização automática (VDC) que os acelera até ao alvo, que se aproxima da tensão equivalente aplicada durante a pulverização catódica em corrente contínua.
A corrente dos iões de pulverização está diretamente relacionada com a tensão aplicada e com o tipo de técnica de pulverização utilizada. Na pulverização de díodo DC, a corrente é determinada pela tensão DC de 500 - 1000 V, enquanto na pulverização RF, a corrente é determinada pela tensão de polarização automática (VDC) que acelera os iões para o alvo.
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