A pulverização catódica é um processo crucial em várias indústrias, especialmente na criação de películas finas.
Existem vários tipos de sistemas de pulverização utilizados na prática, cada um com as suas caraterísticas e aplicações únicas.
Quais são os tipos de pulverização catódica? (4 métodos principais explicados)
1. Pulverização por díodo DC
A pulverização catódica por díodo DC utiliza uma tensão DC entre 500-1000 V para inflamar um plasma de árgon a baixa pressão entre um alvo e um substrato.
Os iões positivos de árgon precipitam átomos do alvo, que depois migram para o substrato e se condensam para formar uma película fina.
No entanto, este método está limitado aos condutores eléctricos e oferece baixas taxas de pulverização.
2. Pulverização por RF-diodo
A pulverização catódica por RF-diodo utiliza energia de radiofrequência para ionizar o gás e gerar plasma.
Este método permite taxas de pulverização mais elevadas e pode ser utilizado tanto para materiais condutores como para materiais isolantes.
3. Sputterização por díodo de magnetrão
Na pulverização catódica por díodo magnetrão, é utilizado um magnetrão para aumentar a eficiência da pulverização.
O campo magnético aprisiona os electrões perto da superfície do alvo, aumentando a taxa de ionização e melhorando a taxa de deposição.
4. Sputterização por feixe de iões
A pulverização catódica por feixe de iões envolve a utilização de um feixe de iões para pulverizar átomos do material alvo.
Esta técnica oferece um controlo preciso da energia dos iões e do ângulo de incidência, o que a torna ideal para aplicações que exigem elevada precisão e uniformidade.
É importante notar que a pulverização catódica pode ser utilizada para uma grande variedade de materiais, incluindo metais, cerâmicas e outros materiais.
Os revestimentos por pulverização catódica podem ser de camada única ou multicamadas e podem consistir em materiais como prata, ouro, cobre, aço, óxidos metálicos ou nitretos.
Existem também diferentes formas de processos de pulverização catódica, como a pulverização catódica reactiva, a pulverização catódica magnetrónica de impulso de alta potência (HiPIMS) e a pulverização catódica assistida por iões, cada uma com as suas caraterísticas e aplicações únicas.
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