A pulverização catódica de ouro resulta normalmente numa película com uma espessura de 2-20 nm. Esta gama é particularmente relevante para aplicações em microscopia eletrónica de varrimento (SEM), onde o revestimento serve para evitar o carregamento da amostra e melhorar a relação sinal-ruído, aumentando a emissão de electrões secundários.
Explicação pormenorizada:
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Objetivo da pulverização catódica de ouro em SEM:
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No MEV, as amostras não condutoras ou pouco condutoras podem acumular campos eléctricos estáticos, que interferem com a imagem. Para mitigar isso, uma fina camada de material condutor como o ouro é aplicada através de pulverização catódica. Este processo envolve a deposição de um metal numa superfície, bombardeando-a com partículas energéticas, normalmente num ambiente de alto vácuo. A camada de metal aplicada ajuda a conduzir a carga eléctrica para longe da amostra, evitando a distorção das imagens SEM.Espessura da pulverização de ouro:
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- A referência fornecida indica que as películas pulverizadas para aplicações de SEM têm geralmente uma espessura entre 2 e 20 nm. Este intervalo é escolhido para equilibrar a necessidade de condutividade com o requisito de não obscurecer os detalhes da superfície da amostra. Revestimentos mais espessos podem introduzir artefactos ou alterar as propriedades da superfície do espécime, enquanto que revestimentos mais finos podem não fornecer a condutividade adequada.Exemplos e técnicas específicos:
- Revestimento de ouro/paládio: Um exemplo dado descreve uma bolacha de 6" revestida com 3 nm de ouro/paládio utilizando definições específicas (800V, 12mA, gás árgon e um vácuo de 0,004 bar). Este exemplo demonstra a precisão que é possível obter na pulverização catódica, com o revestimento a ser uniforme em toda a bolacha.
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Cálculo da espessura do revestimento: Outro método mencionado utiliza técnicas interferométricas para calcular a espessura dos revestimentos Au/Pd a 2,5KV. A fórmula fornecida (Th = 7,5 I t) permite estimar a espessura do revestimento (em angstroms) com base na corrente (I em mA) e no tempo (t em minutos). Este método sugere que os tempos típicos de revestimento podem variar entre 2 e 3 minutos com uma corrente de 20 mA.
Limitações e adequação da pulverização catódica de ouro:
