O processo de pulverização catódica envolve a utilização de gases específicos para garantir a deposição eficiente e eficaz de materiais num substrato.
5 Gases Principais Explicados
1. Árgon
O árgon é o gás mais comum e económico utilizado no processo de pulverização catódica.
2. Crípton
O crípton é utilizado para a pulverização catódica de elementos pesados devido ao seu peso atómico mais elevado.
3. Xénon
O xénon, tal como o crípton, é escolhido pela sua capacidade de pulverizar eficazmente materiais pesados.
4. Néon
O néon é preferido para a pulverização catódica de elementos leves devido ao seu peso atómico mais leve.
5. Gases reactivos (oxigénio e azoto)
Os gases reactivos, como o oxigénio e o azoto, são utilizados em combinação com gases inertes para depositar películas finas de óxidos, nitretos e outros compostos.
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