O envenenamento do alvo na pulverização catódica refere-se à formação de uma camada de óxido isolante na superfície do alvo fora da área da pista metálica. Isto ocorre quando o material do alvo, especialmente se for reativo, interage com o ambiente de pulverização e forma uma camada não condutora.
Resumo da resposta:
O envenenamento do alvo é o desenvolvimento de uma camada de óxido isolante na superfície do alvo, que pode levar à formação de arcos e interromper o processo de pulverização. Esta condição requer a utilização de técnicas de pulsação para evitar a formação de arcos na superfície dieléctrica do alvo envenenado.
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Explicação pormenorizada:Formação da camada de óxido isolante:
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Durante o processo de pulverização catódica, o material alvo é bombardeado com iões, fazendo com que os átomos sejam ejectados e depositados como uma película fina no substrato. Se o material alvo for reativo, pode reagir com o ambiente de pulverização, normalmente oxigénio ou outros gases reactivos presentes na câmara, levando à formação de uma camada de óxido. Esta camada não é condutora e forma-se fora da área da pista metálica na superfície do alvo.
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Impacto no processo de pulverização catódica:
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A presença desta camada de óxido isolante pode afetar significativamente o processo de pulverização catódica. Pode provocar a formação de arcos voltaicos, que é uma libertação súbita de energia eléctrica devido à alta tensão aplicada no alvo e no substrato. A formação de arcos pode danificar o alvo, o substrato e o revestimento, levando a defeitos e à má qualidade do filme.Prevenção e mitigação:
Para prevenir ou atenuar os efeitos do envenenamento do alvo, são frequentemente utilizadas técnicas de pulsação. A pulsação envolve a modulação do fornecimento de energia para o processo de pulverização catódica, o que pode ajudar a quebrar a camada isolante e evitar o acúmulo de carga que leva à formação de arcos. Além disso, a manutenção de um ambiente de pulverização limpo e controlado pode reduzir a probabilidade de envenenamento do alvo.
Efeito de desaparecimento do ânodo:
