Um alvo de pulverização catódica para semicondutores é um disco ou folha fina de material que é utilizado no processo de deposição por pulverização catódica para depositar películas finas num substrato semicondutor, como uma bolacha de silício. A deposição por pulverização catódica é uma técnica em que os átomos do material alvo são fisicamente ejectados da superfície do alvo e depositados no substrato através do bombardeamento do alvo com iões.
Os principais alvos metálicos utilizados na camada de barreira dos semicondutores são os alvos de pulverização de tântalo e titânio. A camada de barreira tem a função de bloquear e isolar para evitar a difusão do metal da camada condutora no material principal, o silício, da bolacha.
Os alvos de pulverização catódica são normalmente elementos metálicos ou ligas, embora também existam alvos cerâmicos. São utilizados em vários domínios, incluindo a microeletrónica, as células solares de película fina, a optoelectrónica e os revestimentos decorativos.
Na microeletrónica, os alvos de pulverização catódica são utilizados para depositar películas finas de materiais como o alumínio, o cobre e o titânio em bolachas de silício para criar dispositivos electrónicos como transístores, díodos e circuitos integrados.
Nas células solares de película fina, os alvos de pulverização catódica são utilizados para depositar películas finas de materiais como o telureto de cádmio, o seleneto de cobre, índio e gálio e o silício amorfo num substrato para criar células solares de elevada eficiência.
Os alvos de pulverização catódica podem ser metálicos ou não metálicos e podem ser ligados a outros metais para maior resistência. Também podem ser gravados ou gravados, o que os torna adequados para imagens foto-realistas.
O processo de pulverização catódica envolve o bombardeamento do material alvo com partículas de alta energia, fazendo com que os átomos sejam ejectados e depositados no substrato para formar uma película fina.
As vantagens da pulverização catódica incluem a capacidade de pulverizar qualquer substância, especialmente elementos e compostos com pontos de fusão elevados e baixa pressão de vapor. A pulverização catódica pode ser utilizada com materiais de qualquer forma, e podem ser utilizados materiais isolantes e ligas para preparar películas finas com componentes semelhantes aos do material alvo. Os alvos de pulverização também permitem a deposição de composições complexas, como filmes supercondutores.
Em resumo, um alvo de pulverização catódica para semicondutores é um material utilizado no processo de deposição por pulverização catódica para depositar películas finas num substrato semicondutor. Desempenha um papel crucial na criação de dispositivos electrónicos e células solares de película fina, entre outras aplicações.
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